株式会社 日本エイピーアイ
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各種装置
ＡＰＩＳＥＮＳＯＲ
プロセスチャンバー内のガスをイオン分子反応を用いて高感度かつリアルタイムで不純物を検出するセンサー
高純度ガスモニター用
プロセスチャンバーモニター用
特殊材料ガスモニター用
環境モニター用
（性能表は只今準備中です。）
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