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● 研究装置開発サポート |
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・APIイオン源
・質量分析装置
・微量不純物発生(PPT)
・クラスター 〜 ナノ粒子生成等
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・プラズマクリーニングシステム
・大気圧リーク検査システム（燃料電池等）
・特殊ガス純化装置（ゲッター、触媒等）
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| ※ これ以外にも各種対応いたします。まずはご相談下さい。 |
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● 有償分析 |
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・現地分析
・ウエハー分析
・破壊分析
・水枯特性
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(現地分析例)
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● APIMSの販売 |
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● APIMSの保守点検 |
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● ガスモニターの開発・販売 |
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● 周辺装置の開発・販売 |
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APIMSに関する様々な周辺装置を開発しています。
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(八王子実験室)
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● 半導体製造装置のクリーンルーム組立・検査 |
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● 高純度ガス配管の施工・検査 |
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(施工例)
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● HYPER処理 (Hydrogen Perfect Cleaning) |
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ガス配管等を組立てた状態で不純物を1ppbにクリーニングします。
・ガスパネル、ガス切替システム、ガス純度管理モニター用配管
・半導体工場向けの高純度配管
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（応用例）
・バルブ、マスフロー、フィルター
・真空部品、装置
・半導体ウエハー、液晶基板
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● 新素材の販売 |
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原子内包フラーレンの販売を行っています。
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| 問い合わせはこちら(info@apinet.co.jp)まで |
